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功率半导体器件的结构函数

2025-12-19 09:52:56

前言

功率半导体热设计是实现IGBT、碳化硅SiC高功率密度的基础,只有掌握功率半导体的热设计基础知识,才能完成精确热设计,提高功率器件的利用率,降低系统成本,并保证系统的可靠性。

功率器件热设计基础系列文章会比较系统地讲解热设计基础知识,相关标准和工程测量方法。

为什么引入结构函数?

在功率器件的热设计基础系列文章《功率半导体壳温和散热器温度定义和测试方法》《功率半导体芯片温度和测试方法》分别讲了功率半导体结温、芯片温度、壳温和散热器温度的测试方法,用的测温仪器是热电偶、红外成像仪和模块中的NTC和芯片上的二极管。

然而,由于被测器件表面和传感器探头之间的接触热阻、传感器导线的热流泄漏和被测物体表面上的温度分布等原因,测量结果都不相同,测量结果是不可重复的。

相比使用热传感器,瞬态热测量技术提供了更好的解决方案,但不方便的是,得到的Zth曲线。局部网络模型(Foster模型)是在时域上的,没有任何结构意义,所以很难用其准确评估产品封装。

从数学上看可以将Foster模型转换Cauer模型,PythonMatlab都有相应的工具,但这种转换结果并不唯一。就是说转换产生的热阻(Rth)和热容(Cth)数组并不唯一确定的,在新的连续网络模型(Cauer模型)也没有任何物理意义。因此,合并互不协调的Cauer模型可能会导致很大的误差。

结构函数分析方法克服了这些弱点。它将瞬态热测量结果转变成热阻和热容的曲线图,提供了从结到环境的每一层详细的热信息。这可以很容易并准确地识别各层的物理特性,如芯片、DCB、铜基板、导热层TIM和散热器,甚至能读出焊料层,以及像风扇这样的冷却装置。

双界面法

瞬态双界面法是获取结构函数的基础,在JEDEC标准JESD51-14《用于测量半导体器件结壳热阻的瞬态双界面测试法》中有定义。这标准是T3Ster团队和英飞凌于2005年提出来的,2010年标准发布。

瞬态双界面(TDI)测量方法是对安装在温控散热同一功率半导体器件进行两次ZthJC测量。第一次测量不涂导热硅脂,第二次安装正常工艺规范涂上一层薄薄的导热脂。由于不涂导热硅脂的热阻大,两条ZthJC曲线会在某一时刻tS处开始明显分离。

由于热流一进入热界面层,两条ZthJC曲线就开始分离,因此此时分界点的ZthJCZthJC(ts)就是稳态热阻RthJC

结构函数

结构函数是一种用于分析半导体器件热传导路径上热学性能的工具。它通过将瞬态热测量结果转换为热阻与热容的关系曲线,提供热量经过的每一层(从结到环境)的详细热信息。

X轴是从结到环境热阻Rth的累计值,Y轴是热容Cth的累计值。

图中每一种颜色区域代表的一层材料,如靠近原点的狭小粉红色区域是芯片,第二部分是芯片焊接层……(本图是借用JESD51-14,附录A10,标准没有做材料层解读,本文用作定性示例解读)

结构函数可以清楚表征热传导路径,展示半导体器件从芯片结到环境的一维散热路径。在这个路径上,不同材料的热阻和热容参数会发生变化,结构函数通过曲线的斜率、波峰等特征来反映这些变化。

结构函数计算材料热学性能,通过结构函数,可以读出每一层封装材料的热阻和热容值。这对于评估材料的导热性能、优化设计封装结构具有重要意义。

实测案例

这是1000A1700VPrimePACK™3DF1000R17IE4D的热阻测试过程:

首先获得降温曲线:

转换产生积分结构函数,但发现每一层的分界点不是很清楚:

通过微分找出分界点:

标出区域,读出数值:

  • 区间1:结到壳的热阻=0.0239K/W

  • 区间2:壳到散热器的热阻=0.0244K/W

  • 区间3:散热器到环境

结构函数的更多应用

结构函数为热设计提供了重要的参考数据。通过分析结构函数,热设计人员可以了解器件在不同条件下的热学性能,从而设计出更高效的散热系统。

结构函数还可以用于分析半导体器件的可靠性。通过监测器件在长时间工作中的热学性能变化,可以及时发现潜在的热失效风险,提高器件的可靠性。

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作者: 深圳市亿伟世科技有限公司
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功率半导体器件的结构函数
前言功率半导体热设计是实现IGBT、碳化硅SiC高功率密度的基础,只有掌握功率半导体的热设计基础知识,才能完成精确热设计,提高功率器件的利用率,降低系统成本,并
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