今天看到一个问题SiCMOSFET为什么要做到1200V?
如能理解SiCMOSFET与SiIGBT各自优势及适用场景,这个问题便迎刃而解。
简单做些分析。
SiCMOSFET用于替代什么产品?
SiIGBT,
对功率MOSFET而言,电压级别越高,所需要的外延层厚度越大,而厚外延会增大导通电阻,
因此,耐压与电阻,是一对需要取舍的指标。
当耐压大于600V,Si功率MOSFET的导通电阻会大到难以接受,因此在这个区间,采用SiIGBT。
为什么SiIGBT在高耐压下,可保持低导通电阻?
因为引入电导调制效应,MOSFET是单极型器件,只有一种载流子参与导电,IGBT是双极型器件,两种载流子均参与导电,这一差异决定,后者可以显著降低电阻,
代价是——开关损耗增大。
倘若有一种新材料,用该材料制备的功率MOSFET,在高耐压应用下,导通电阻可以做到与SiIGBT同一水平,甚至更低,而MOSFET单极型特点决定,其开关损耗明显低于IGBT,
岂不是两全其美?
我们找到了这种材料,便是碳化硅。

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上图是两种材料功率器件的应用范围,
SiCMOSFET主要应用于600V~3.3kV范围,用于替代Si基IGBT,
600V以下,虽然可以制备,但相比Si器件没有明显优势。
较之SiMOSFET,为什么SiCMOSFET适用于更高级别的电压范围?
关键,在于两种材料的临界击穿场强差异。
SiC材料的临界击穿场强,大约是Si的10倍,
这意味着,为实现相同耐压,SiCMOSFET所需的外延层可以更薄,掺杂浓度可以更高,
换言之,实现远低于SiMOSFET的漂移区电阻。
由此,相比SiMOSFET,相同耐压的SiCMOSFET可以实现远低于前者的导通电阻。
当然,两种材料临界击穿场强差异也带来了另一后果,
那就是SiC功率器件的栅氧可靠性问题。
经常看到如下说法:
SiMOSFET,氧化层(SiO₂)在阻断模式下的稳定性通常足够优异,
SiCMOSFET,氧化层(SiO₂)在阻断模式下的稳定性较差。
为何有此差异?
本质原因是,SiMOSFET中,Si材料充当了SiO₂的替死鬼,电场升至某一临界点,Si材料先顶不住,一命呜呼,
一旦某种材料率先击穿,器件漏电急剧增大,芯片光荣牺牲,
芯片内部其他材料是否击穿,不再有人关心。
但在SiC功率器件中,随着电场强度的提升,最先击穿的,很可能是SiO₂,道理很简单,SiC材料的临界击穿场强是Si的10倍,半导体材料太坚挺,SiO₂材料便显得脆弱。所以需要额外关注SiO₂的稳定性。
梳理这个逻辑:
1、功率器件领域,SiMOSFET主要用于600V以下区间,再往上,电阻大到无法接受,
2、SiIGBT主要用于600V~1700V区间,因其引入电导调制效应,显著降低电阻,代价是开关损耗变大。
3、SiCMOSFET主要用于600V~1700V区间,以替代SiIGBT,
为什么相比SiMOSFET,SiCMOSFET可用于更高耐压区间?
因为材料特性。
接下来,通过数据,直观感受SiMOSFET,SiCMOSFET的电阻差异,

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这张图,对比SiMOSFET、Si超结MOSFET、ROHM二代SiCMOSFET及ROHM三代SiCMOSFET的比导通电阻,
作一条垂直于横轴的直线,便能看到,相同耐压下,四者的电阻依次减小。
对于击穿电压900V的器件,若想实现相同比导通电阻,SiCMOSFET的芯片尺寸,只需要SiMOSFET的100分之一,Si超结MOSFET的10分之一,
换言之,SiCMOSFET具备更大的单位面积电流密度,
如此,可以通过小尺寸封装实现相同的电阻,寄生电容和栅电荷也随之减小。
这里提到两种SiMOSFET,一种是常规结构,一种是超结MOSFET,
不必细究此间差异,总之都是MOSFET,且相比常规结构,后者可以将电阻降低一个量级。

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这张图,是常高温下,SiIGBT、SiSJMOSFET以及SiCMOSFET的输出曲线,
左图是25℃,右图是150℃,
比较SiSJMOSFET与SiCMOSFET,
前者常高温电阻系数大于2,后者的常高温电阻系数大于1,
因此,后者可以实现更优的高温特性,
这源自SiC材料更大的禁带宽度,EG越大,电子需更多能量才能跃迁禁带,器件的高温稳定性越好。
再对比SiIGBT与SiCMOSFET,
可以看到,IGBT存在一个开启电压(图中那个明显的拐点),以致于小电流时,导通损耗较高,
SiCMOSFET不存在这一拐点,带来的优势是——在整个工作电流范围内,都能实现较低的导通电阻,从而实现低导通损耗。
这一区别在应用上有重要意义,
待机、轻载等小电流场景,IGBT存在较大的导通损耗,这是器件结构的固有弊病,难以降低,
具体到生活中,电动汽车在市区低速行驶,频繁启停,采用SiCMOSFET可以明显提升续航,正是这个原因。

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这张图,是50Hz正弦波的一个周期内,SiCMOSFET与SiIGBT的器件总损耗对比,
不同形状代表不同开关频率,方块是10kHz,圆点是4kHz,
Low、medium和highcarrierconfinement,是SiIGBT的三种载流子分布设计,
可以简单认为,carrierconfinement越high,表现在电性能,导通好而关断差,越接近典型的IGBT,
carrierconfinement越low,表现在电性能,关断好而导通差,越接近SiCMOSFET。
这里的关断差,指关断损耗较高。
换言之,SiIGBT可以通过弱载流子限制(lowcarrierconfinement),以实现更接近SiCMOSFET的开关速度,但会牺牲其导通压降较低之优势。
那么SiIGBT到底是否应该走这种路线呢?
从图中可以得出以下结论,
1、从4kHz到10kHz,SiIGBT总损耗增幅更大,而SiCMOSFET总损耗增幅更小,换言之,开关频率越高,SiCMOSFET的优势越明显。
2、在低开关频率下,由于相同工作时间内,器件开关次数更少,因此开关损耗在器件总损耗的占比更低,此时SiIGBT导通损耗较低之优势可以更充分地体现,
表现在图中,就是相比SiCMOSFET,采用highcarrierconfinement的SiIGBT在低频下的总损耗差距更小。
从更本质的角度看待MOSFET和IGBT这两种器件,会更加清晰,
功率器件设计,器件总损耗=导通损耗+开关损耗,前者是静态损耗,后者是动态损耗,
设计时往往无法兼顾,调整某一参数or改变某一结构,可以减小导通损耗,却会增大开关损耗,反之亦然。
比如,相比MOSFET,IGBT引入电导调制效应,显著提升导通能力,减小静态损耗,
代价是,拖尾电流的存在,使得关断损耗明显增大,动态损耗上升。
因此,我们只能针对不同应用场景,寻求相应的最优trade-off。
对SiIGBT而言,非要同SiCMOSFET在开关速度上一较高低,是以己之短,攻彼之长,会导致整体性能恶化(总损耗),不智矣!
小结:
1、单极型MOSFET、双极型IGBT,两种器件有着不同的优先级考虑,前者在动态损耗上占优,后者在静态损耗上更低。
2、SiMOSFET主要用于600V以下区间,SiIGBT主要用于600V~1700V区间,
如在600V以上区间使用SiMOSFET,电阻会大到难以接受。但IGBT的电导调制效应使其可以实现更小的导通电阻,因此得以应用于更高耐压区间。
3、SiCMOSFET之所以能在600V~1700V区间与SiIGBT竞争,是因为材料差异,
具体地,SiC材料的临界击穿场强10倍于Si,这意味着相比SiMOSFET,欲实现相同耐压,SiCMOSFET所需的外延层更薄,掺杂浓度更高,器件导通电阻更低。
材料的优势弥补了器件类型的电阻劣势,SiCMOSFET因之得以在600V~1700V区间抢占市场。
4、待机、轻载等小电流场景,SiIGBT存在较大的导通损耗,这是双极型器件的固有弊病,难以通过设计避免。该场景下,SiCMOSFET的效率更高,损耗更低,。
5、高频应用场景,SiCMOSFET的优势明显
低频应用场景,开关损耗在总损耗的占比降低,某些专注于发挥导通压降优势的IGBT设计,其总损耗与SiCMOSFET的损耗相当甚至更低,仍具竞争力。
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