今天这篇文章对SiC、GaN器件,做一全面对比,包括材料、器件、性能、应用四大板块,
(1)材料特性:

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不同的应用场景,肇始于材料特性之差异,
上图是几种WBG(Wide Bandgap,宽禁带)材料的基本特性,
EG是禁带宽度,Ecrit是临界击穿场强,μe是电子迁移率,Vs是电子饱和漂移速度,κth是热导率,
相比Si,WBG材料(SiC和GaN)均具备更高的临界击穿场强和更高的热导率,这些优势使其能够实现更高耐压、更低导通电阻。
这里提一句,很多人对WBG材料这种表述方式不熟悉,
其实专业表述方式,正是宽禁带半导体,而不是第三代半导体,
国外并没有“第几代半导体”这种说法,碳化硅、氮化镓、氧化镓之类的材料,一律称为宽禁带半导体,
国内这种第一代、第二代、第N代的划分,大概是为了方便讲故事,创造出来的概念。
回归主题,
作为宽禁带半导体材料的代表,近年SiC器件与GaN器件的竞争,甚嚣尘上,
但,由于材料的不同特性,我们更应该期待不同技术的共存,让不同材料,专注于不同的应用场景。
介绍一个概念,生态位”(niche),
即便在一个狭小空间,也可能共存很多物种,因其生态位的不同,彼此不产生竞争。
比如,森林的生态系统,由五个层次构成,
自下而上,
第一层是土壤,
第二层是低矮草皮,
第三层是灌木,
第四层是乔木,
第五层是森林上空。
每一层次,各自生活着不同种类的生物,层次之间,因其生态位的不同,不发生直接竞争。
恰似SiC器件之于高压场景,GaN器件之于高频场景,
森林生态系统的垂直分层,本质上是资源(阳光、养分)的梯度分布,导致生态位分化,
电子器件的应用场景分布,本质上是电参数(耐压、频率)的梯度分布,导致应用生态位分化。
更重要的是,不同生态位之间的生物,存在共生关系,
恰似不同应用场景的各种器件,合力发挥某种功能。
比如,电动汽车中,SiC器件负责高压主驱,GaN器件负责低压辅助电源,Si器件处理控制信号,
恰似乔木、灌木和苔藓在森林中各司其职。
这,便是趋异的思路——不需要使对方出局,双方占据不同生态位,享受不同资源,发挥不同功能。
当然,某些时候,不同生态位之间会出现重叠,竞争在所难免。
前几年,SiC MOSFET主要应用于650V及以上耐压区间,
GaN HEMT则受限于横向结构(源漏在同一平面),耐压难以做高,主要应用于650 V以下耐压区间。
目前,双方都试图进一步开辟市场,
SiC通过降低成本的方式,尝试进入中低压,
GaN通过缓冲层优化等技术,尝试进入中高压,
可以预见,在650V ~ 1200V领域,两种器件将出现激烈竞争,
恰似灌木和乔木对资源的竞争。

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第一种引起电力电子领域关注的WBG半导体材料,是SiC,
那大概是1980年,因为SiC与Si的工艺兼容性,即,它是唯一可以通过干氧形成SiO2(作为栅氧)的化合物半导体材料。
1990年左右,SiC肖特基二极管首次实现商业化,
此后,随着技术的发展,SiC得以在高达1700 V的耐压范围内应用于MOSFET、结型场效应晶体管(JFET)和二极管。
而GaN器件历史,始于发光二极管(LED)领域,
1990年左右,GaN开始在电力电子领域引起关注。
AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT),充分利用GaN的材料优势:二维电子气(2DEG)的存在,使其可以同时实现低导通电阻、高开关频率。
相比第一个商用SiC器件,第一个商用GaN功率场效应晶体管(FET),晚出现10年。
如今,得益于学界、业界的持续努力,市场上已经可以见到额定电压高达1200 V的GaN HEMT,
当然,大多数GaN HEMT产品的额定电压不高于650 V。
(2)器件结构:
以上,都在解释SiC、GaN的材料特性,
接下来,聊聊器件结构。
功率晶体管欲实现商业化,必须满足三个要求:
1)能够承受足够高的电压和功率,
2)具有低开关损耗和导通损耗,
3)实现常关功能,
WBG半导体材料的固有特性,使其适合制造符合前两种条件的器件,
当然,根据衬底、外延等技术难度的大小,以及随之而来的成本高低,不同材料的器件结构可能存在明显差异,
比如SiC商用器件是垂直结构,GaN商用器件是横向结构。

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上图是几种主要的SiC、GaN器件结构,
目前,市场上的SiC晶体管主要有二:垂直MOSFET(平面栅或沟槽栅)、共源共栅垂直JFET(cascode JFET),
两种结构都可实现常关功能,
其中,平面MOSFET如图(a),沟槽MOSFET如图(b), JFET如图(c),
平面和沟槽SiC MOSFET,各位想必很熟悉,
至于JFET,观察图中的Gate,会发现,它位于沟槽之中,
市场上主流的SiC JFET,同样采用沟槽结构,对沟槽侧壁和底部进行P型注入,
与ROHM双沟槽SiC MOSFET的源槽设计,异曲同工。
具体参考这篇文章,
另外,解释一下cascode,
cascode,共源共栅,可以理解成将两个器件级联,形成一个复合器件,
为什么要这么做?
一般是因为某种器件不易驱动,比如是常开型,
于是将其与一个常关的器件(如Si MOSFET)级联,一并封装,使其转换为易于驱动的常关型器件,
封装成单管后,看上去也是一个标准的、正压驱动的三端功率器件(G, D, S),但其实里面有两种器件。
前已论述,GaN可以实现HEMT,但,AlGaN/GaN HEMT是一种常开器件,不适用于需要失效保护的功率应用场景。
这里提一句,业界所谓fail-safe power applications,直译“故障导向安全应用”,
意思是,任何单一故障发生时,系统必须自动进入安全状态(通常为关断/零功率输出),
常开型器件,0V驱动下处于导通状态,可能形成浪涌电流,导致系统失控,
常关型器件,栅极驱动失效时,器件自然关断,功率路径切断,符合安全原则。
因此,功率晶体管欲实现商业化,要求之一便是常关型。
GaN器件欲实现常关功能,主要有两种技术:
1)使用p-GaN栅极堆叠,如图(d)所示,
2)使用共源共栅结构,如图(e)所示。
前者的原理是,在AlGaN之上,生长p型GaN(掺Mg),栅金属与p型GaN形成肖特基接触,
零栅压下,p型GaN的空穴与AlGaN/GaN界面的2DEG电子复合,降低沟道电子浓度,实现常关。
后者的原理是,将Si MOSFET与GaN HEMT串联,借助Si MOSFET控制GaN HEMT沟道的开关,
Si MOSFET的源极,接GaN HEMT的栅极,
驱动电压为0,HEMT栅极通过Rg下拉至负电压,使得沟道关断,
驱动电压大于0,HEMT栅极被拉至Si MOSFET源极电位,沟道开启。
p-GaN栅极堆叠,是单芯片方案,
共源共栅结构,是两种芯片混合封装方案,
目前,这两种结构是市场上仅有的增强型GaN FET实现方案。
(3)性能对比:
聊完器件结构,再聊聊器件的电性能对比,
通过数据,定量对比Si、SiC、GaN三种材料器件,
耐压级别选择650 V,连续漏极电流选择30 A至50 A,典型导通电阻选择50 mΩ左右,

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这张雷达图,对比五种器件的各项参数,包括SiC MOSFET、SiC cascode JFET、GaN e-mode HEMT、GaN cascode HEMT以及Si MOSFET,
GaN e-mode HEMT,增强型HEMT(Enhancement mode),即上文提到的p-GaN栅极堆叠方案,
具体参数方面,
(a)是栅电荷、输入电容及动态FOM值(Ron·QG),
(b)是开关过程中的各种时间。
先看Ron·QG,该值同时考虑了导通损耗和开关损耗,常用于评估晶体管工作效率,越小,意味着损耗越低。
GaN e-mode HEMT的Ron·QG值最低,相比GaN cascode HEMT,降低两倍,相比SiC和Si器件,降低四倍以上。
仅看动态参数,GaN e-mode HEMT的输入电容Cin最小(200 pF以内),GaN cascode HEMT的输入电容Cin较高(因为多了驱动器件),
而SiC MOSFET的Cin高于900 pF,
Si MOSFET的Cin最高,达到数千pF。
另外,由于不存在体二极管,GaN增强型HEMT的反向恢复电荷为0,
SiC MOSFET和GaN cascode HEMT的反向恢复电荷约为100 nC,而Si MOSFET的反向恢复电荷达到数千nC。
高反向恢复电荷会降低转换器效率,引起电压电流尖峰,在这一点上,GaN增强型HEMT有着明显优势。
导通延迟时间(tdon)、上升时间(tr)、关断延迟时间(tdoff)和下降时间(tf)的对比如图(b),这些参数反映器件快速开通和关断的能力,
平均来看,GaN e-mode HEMT用时最短,性能最佳,但与其他器件的差异并不明显。
由于驱动器件的存在,GaN cascode HEMT的各项时间参数长于GaN e-mode HEMT,与SiC和Si器件相当,
若以快速开通、关断能力作为评价标准,上述五种器件中,GaN e-mode HEMT最优。

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不限于650V,拓展到更高耐压领域,
这张雷达图,对比650 V、900 V以及1200 V三种耐压级别的三种不同材料的器件,
具体数据不赘述,
结论是——即便在更高耐压范围内,GaN器件也具有更优的动态特性,本质上,这是材料特性决定。
但必须强调,在900V-1200V耐压范围内,市场上只有可供选择的GaN商用产品并不多,而SiC MOSFET可以轻松实现1700 V耐压,且有来自众多知名供应商的数十种选择。

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这张大表,将来自十余家供应商的二十余款产品进行对比,非常齐全,
从成本角度分析这些产品,
650V级别,GaN分立器件单价比Si器件高30%左右,SiC分立器件单价比Si器件高50%左右,
但所有650V分立器件的售价都低于18美元,这意味着价差有限。
更高耐压级别,Si器件价格与SiC器件趋平,
相比650V GaN器件,更高耐压GaN器件价格提升20%。
以上价格对比的结论是——选择SiC或GaN对转换器的BOM(物料清单)成本影响有限。
且,SiC/GaN器件的主要价值,体现在系统级成本优势,
它们允许转换器工作在更高频率,这意味着可以使用更小更便宜的无源元件(电感、电容),进而降低系统成本。
以上两张雷达图可表明,为什么 在高压高功率领域,电力电子正转向 SiC 和 GaN 等宽禁带半导体器件。
(4)应用场景:
最后聊聊两种器件的应用场景,

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先看这张图,横轴频率,纵轴功率,
靠左的三种器件分别为Si MOSFET、Si SJ MOSFET以及Si IGBT,
靠右的两种器件分别为SiC MOSFET、GaN HEMT,
非常直观地看到,SiC MOSFET和GaN HEMT使得功率器件向更大功率、更高频率的方向,进一步发展,
且SiC MOSFET的优势在于更大功率(纵轴方向延伸更多),
GaN HEMT的优势在于更高频率(横轴方向延伸更多)。
相比Si器件,如采用SiC和GaN器件,因其高频、高效(发热量降低)特性,外围元件(电感、电容、变压器、散热)可以进一步精简,整个功率转换器系统的体积得以缩小,
用更加紧凑的整体结构,实现更高的功率密度,这便是WBG器件的优势。
目前,SiC、GaN器件主要应用于两种不同领域,
前者广泛应用于混动、电动汽车的牵引逆变器(特斯拉自2017年起开始使用SiC器件),同时在电动汽车乃至跑车赛车的车载充电器(OBC)和牵引逆变器中也有应用,
因此,SiC器件目前主要面向汽车市场。
而GaN器件主要用于PC、智能手机的电源和充电器,更侧重于消费电子产品。

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这张图,对比SiC/GaN器件具体应用场景的差异,
仍然以耐压为分界线,400V以下,GaN主导,1200V以上,SiC主导,
自上而下,
1200V以上,SiC器件应用领域包括风力发电、智能电网和列车牵引,
400V~1200V,SiC/GaN器件共存,应用领域包括光伏逆变器(PV inverters)、混动电动汽车(HEV、EV),以及工业电机控制(Ind. motorcontrol ),
400V 以下, GaN 器件应用领域包括家用电器、 PC 和智能手机充电器,以及数据中心(服务器电源) 。

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这张图,展示了混动/电动汽车(HEV/EV)的主要电力电子系统架构,并标注关键模块,对不熟悉汽车构造的芯片从业者来说,很有价值。
简单介绍一下,
1)Off-Board Charger,外部电源,即公共或家用直流充电桩,
2)On-Board Charger, OBC,车载交流充电机,这玩意集成在车里,作用是将家用交流电转换成直流电,为高压电池充电,
3)Traction Inverter,牵引逆变器,将电池的高压直流电逆变为三相交流电,控制电机转速,直白地说,它可以将电能转化为机械能。
4)HV Battery,高压电池,用于存储电能,驱动电机,
5)LV Battery,低压电池(一般为12V),传统汽车电瓶的替代品,为车灯、音响等低压设备供电,由高压电池通过DC-DC转换器维持电量,
6)DC/DC,高压→低压转换器(如400V转12V),将高压电池的电能转换为12V,为低压系统供电,
7)ADAS/Infotainment,辅助系统,包括高级驾驶辅助与车载娱乐系统,由低压电池或DC/DC转换器供电。
关于两种器件的电路拓扑,也简单提几句,
不同应用场景下,功率器件应采用不同电路拓扑结构(circuit topologies),主要决定因素包括电压、功率和开关频率,
先说GaN器件,
低功率(<70W)应用,如USB-C适配器(常说的Type-C充电器),
这一应用场景,无需PFC(Power Factor Correction,功率因数校正)电路,主流拓扑是准谐振反激变换器(Quasi-resonant flyback)和有源钳位反激变换器(Active-clamp flyback),
中高功率(70W~250W)应用,采用多级拓扑,前端必须包括PFC电路,后续的DC-DC可以采用反激拓扑或桥式拓扑(如半桥、全桥)。
更高功率(>250W)应用,必须采用软开关或零电压开关(ZVS)拓扑以降低损耗,尤其是谐振LLC拓扑。
而SiC器件,主要应用于高功率场景,已形成模块化产品,
主要通过桥式拓扑或斩波器拓扑(Chopper,如牵引系统),构成逆变器,以处理高功率。
小结:
1)材料:SiC商用器件是垂直结构,GaN商用器件是横向结构,有此差异,本质上,还是材料特性的差异,造成衬底、外延等技术难度大小不同,进而导致成本的高低,
2)材料:电子器件的应用场景分布,本质上是电参数(耐压、频率)的梯度分布,导致应用生态位分化,如SiC器件之于高压场景,GaN器件之于高频场景,
3)器件:商用SiC晶体管主要有二:垂直MOSFET(平面栅或沟槽栅)、共源共栅垂直JFET(cascode JFET),而GaN器件欲实现常关功能,主要有两种技术:p-GaN栅极堆叠、共源共栅结构,
4)性能:从650V到1200V,相比Si器件和SiC器件,GaN器件具有更优的动态特性,包括更低的Ron· QG值,更优的快速开通和关断能力,
5)成本: 选择SiC或GaN对转换器的BOM(物料清单)成本影响有限,且SiC/GaN器件的主要价值体现在系统级成本优势,通过使用更小更便宜的无源元件(电感、电容)降低系统成本,
6)应用:SiC MOSFET和GaN HEMT使得功率器件向大功率、高频率的方向进一步发展,前者主攻大功率,后者优势在于高频,
7)应用:SiC器件广泛应用于混动、电动汽车的牵引逆变器,主要面向汽车市场,GaN器件主要用于PC、智能手机的电源和充电器,更侧重于消费电子产品。
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