日本工业气体制造商关东电化工业株式会社（Kanto Denka Kogyo Co.）位于东京西北部群马县涩川市的三氟化氮（NF3）工厂近日发生火灾，引发半导体供应链可能中断的担忧。火灾造成一名工人死亡，另一名工人受伤。据该公司透露，工厂的两条生产线中的一条遭受部分损坏，已暂停运营。
三氟化氮是半导体制造中用于蚀刻和成膜工艺的关键材料，也用于清洁被称为“腔室”的容器。关东电化在该领域的国内生产份额超过90%。尽管铠侠控股株式会社（Kioxia Holdings Corp.）表示，由于有其他气体来源和剩余库存，此次火灾不会对生产和7-9月的收益产生直接影响，但市场仍对此保持高度关注。
岩井科斯莫证券高级分析师Kazuyoshi Saito指出，关东电化的客户包括三星电子公司、铠侠、索尼和美光科技公司。如果该工厂长期关闭，可能会加剧那些为满足人工智能需求而全力生产的制造商的产能紧缩。
此次火灾再次暴露了半导体供应链的脆弱性。2020年，旭化成位于宫崎县延冈市的一家半导体工厂发生火灾，曾影响包括汽车生产在内的多个行业。近年来，海外公司在NF3生产方面的实力不断增强，而日本国内制造商几乎完全依赖于关东电化。
今年5月，三井化学公司宣布将于2026年3月底停止NF3的生产，理由是价格竞争加剧和原材料成本上涨导致难以确保利润。日本政府为加强国内半导体供应链，向相关制造设备和材料制造商提供补贴，并于2012年通过日本投资公司（JIC）收购了半导体材料光刻胶制造商JSR，呼吁行业重组。
然而，经营半导体原材料和制造设备的公司众多，提供全面支持以维持供应链稳定仍面临挑战。此次火灾事件无疑将促使业界和政府进一步审视和加强半导体供应链的韧性和安全性。
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