金融界2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，费勉仪器科技（上海）有限公司申请一项名为“制备包含碳化硅层的衬底的方法、装置以及半导体器件”的专利，公开号CN120376407A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本公开涉及半导体技术领域，具体涉及一种制备包含碳化硅层的衬底的方法、装置以及半导体器件。制备包含碳化硅层的衬底的方法，包括：将低质量碳化硅衬底与单晶硅片进行键合，以形成包含表面硅层的衬底；在包含表面硅层的衬底周围形成含碳化物气体的气氛，含碳化物气体的气氛还包括含硅气体；加热包含表面硅层的衬底，使表面硅层生成单晶碳化硅层。
天眼查资料显示，费勉仪器科技（上海）有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1207.1943万人民币。通过天眼查大数据分析，费勉仪器科技（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目324次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息223条，此外企业还拥有行政许可18个。
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